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產品介紹 Products
特用化學品
黃光製程 > 稀釋劑

光阻塗佈的前處理,基本上有兩個目的,一是解決topography問題;另一個就是RRC.

日益和SBD800 系列為一高純度且經過高規格的品質與生產管控,有效的掌控金屬離子與微粒子。

除了可以作為光阻稀釋,管路的清洗/浸泡,也可作為製程的改善使用,如Prewetting

Pre-wetting的效果就是先讓溶劑進入較窄的溝槽等,之後塗佈光阻,不會造成seam/void.

RRC最早為TEL所提出,可以藉由pre-wetting使得光阻在旋轉過程中更快速的分佈於整面wafer上。

 

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品名 簡介 特性
SBD-800 系列 SBD-801、SBD-802G。
  1. SBD-800系列爲高純度的有機溶劑。
  2. 提供客戶完善的金屬離子與微粒子的高規格管控。
  3. SBD-801為純度>99.5%的PMA,提供客戶在稀釋與RINSE上的需求。
  4. SBD-802G為純度>99% GBL,作爲PBO與PI塗布前的預溼潤。