| NMP (電子級) |
溶劑 |
1.依製程條件需求，嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。
|
| PGMEA (電子級) |
溶劑 |
1.依製程條件需求，嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。
|
| 28%氨水 (電子級) |
水溶液 |
1.依製程條件需求，嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。
|
| TMAH (電子級) |
水溶液 |
1.依製程條件需求，嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。
|
| HF (電子級) |
水溶液 |
1.依製程條件需求，嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。
|
| DMSO (電子級) |
溶劑 |
1.依製程條件需求，嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。
|
