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特用化學品
黃光製程
顯影中止劑
品名
簡介
特性
SBD-801
含高純度之PGMEA。應用於晶圓之光阻顯影製程後,可立即中止PI顯影,維護光阻的良好形狀。
1.電子級化學品
2. 與相關有機溶劑的互溶性高,且對PI光阻的反應性低
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