NMP (電子級) |
溶劑 |
1.依製程條件需求,嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。 |
PGMEA (電子級) |
溶劑 |
1.依製程條件需求,嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。 |
28%氨水 (電子級) |
水溶液 |
1.依製程條件需求,嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。 |
TMAH (電子級) |
水溶液 |
1.依製程條件需求,嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。 |
HF (電子級) |
水溶液 |
1.依製程條件需求,嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。 |
DMSO (電子級) |
溶劑 |
1.依製程條件需求,嚴格管控物料之濃度及金屬不純物或微粒子數。 |