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特用化學品
濕製程
蝕刻液
銅蝕刻:
高速銅蝕刻應用(去銅刺):
鈦蝕刻:
高速銀蝕刻應用(去銀刺):
品名
簡介
特性
SCE 系列
適用於晶圓製程之酸性銅蝕刻液。
1.不含雙氧水,蝕刻壽命長
2. 蝕刻速率可接受客製化調整
STE 系列
適用於晶圓製程之酸性鈦蝕刻液。
1.不含氫氟酸
2. 蝕刻速率可接受客製化調整
SAE 系列
適用於晶圓製程之酸/鹼性鋁蝕刻液。
1.單劑型
2. 蝕刻速率、酸鹼性,可接受客製化調整
SSE系列
適用於封裝製程之鹼性銀蝕刻液。
1.雙劑型操作
2. 可快速去除因切割製程出現之銀質毛刺
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