產品介紹
Product光阻塗佈的前處理，基本上有兩個目的，一是解決topography問題；另一個就是RRC.
日益和SBD－800 系列為一高純度且經過高規格的品質與生產管控，有效的掌控金屬離子與微粒子。
除了可以作為光阻稀釋，管路的清洗／浸泡，也可作為製程的改善使用，如Pre－wetting。
Pre-wetting的效果就是先讓溶劑進入較窄的溝槽等，之後塗佈光阻，不會造成seam/void.
RRC最早為TEL所提出，可以藉由pre-wetting使得光阻在旋轉過程中更快速的分佈於整面wafer上。
| 品名 | 簡介 | 特性 |
|---|---|---|
| GBL | 預增加晶圓表面之潤濕性，進而提升光阻的塗佈性及界面相容性。 |
1.電子級化學品 2. 屬特殊性產品，不產生化學鍵結而提升界面相容性 |
| SBD-803 | 屬光阻中的主要溶劑之一，主要功用為稀釋光阻等相關用途。 |
1.與各類型光阻相容性高用途廣泛。 |