| NMP (电子级) |
溶劑 |
1.依制程条件需求，严格管控物料之浓度及金属不纯物或微粒子数。
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| PGMEA (电子级) |
溶剂 |
1.依制程条件需求，严格管控物料之浓度及金属不纯物或微粒子数。
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| 28%氨水 (电子级) |
水溶液 |
1.依制程条件需求，严格管控物料之浓度及金属不纯物或微粒子数。
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| TMAH (电子级) |
水溶液 |
1.依制程条件需求，严格管控物料之浓度及金属不纯物或微粒子数。
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| HF (电子级) |
水溶液 |
1.依制程条件需求，严格管控物料之浓度及金属不纯物或微粒子数。
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| DMSO (电子级) |
溶剂 |
1.依制程条件需求，严格管控物料之浓度及金属不纯物或微粒子数。
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