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黃光製程 > 顯影中止劑
品名
簡介
特性
SBD-801
含高純度之PGMEA。應用於晶圓之光阻顯影製程後,可立即中止PI顯影,維護光阻的良好形狀。
電子級化學品
與相關有機溶劑的互溶性高,且對PI光阻的反應性低