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特用化學品
黃光製程 > 顯影中止劑
品名 簡介 特性
SBD-801 含高純度之PGMEA。應用於晶圓之光阻顯影製程後，可立即中止PI顯影，維護光阻的良好形狀。
  1. 電子級化學品
  2. 與相關有機溶劑的互溶性高，且對PI光阻的反應性低