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产品介绍 Products
光刻工艺
黄光制程 > 显影中止剂
品名 简介 特性
SBD-801 含高纯度之PGMEA。应用于晶圆之光阻显影制程后,可立即中止PI显影,维护光阻的良好形状。
  1. 电子级化学品
  2. 与相关有机溶剂的互溶性高,且对PI光阻的反应性低