光阻塗佈的前處理，基本上有兩個目的，一是解決topography問題；另一個就是RRC.
日益和SBD－800 系列為一高純度且經過高規格的品質與生產管控，有效的掌控金屬離子與微粒子。
除了可以作為光阻稀釋，管路的清洗／浸泡，也可作為製程的改善使用，如Pre－wetting。
Pre-wetting的效果就是先讓溶劑進入較窄的溝槽等，之後塗佈光阻，不會造成seam/void.
RRC最早為TEL所提出，可以藉由pre-wetting使得光阻在旋轉過程中更快速的分佈於整面wafer上。
| 品名 | 簡介 | 特性 |
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| SBD-800 系列 | SBD-801、SBD-802G。 |
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