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產品介紹 Products
特用化學品
黃光製程 > 預濕潤劑

光阻塗佈的前處理,基本上有兩個目的,一是解決topography問題;另一個就是RRC.

日益和SBD800 系列為一高純度且經過高規格的品質與生產管控,有效的掌控金屬離子與微粒子。

除了可以作為光阻稀釋,管路的清洗/浸泡,也可作為製程的改善使用,如Prewetting

Pre-wetting的效果就是先讓溶劑進入較窄的溝槽等,之後塗佈光阻,不會造成seam/void.

RRC最早為TEL所提出,可以藉由pre-wetting使得光阻在旋轉過程中更快速的分佈於整面wafer上。

 

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品名 簡介 特性
GBL 預增加晶圓表面之潤濕性,進而提升光阻的塗佈性及界面相容性。
  1. 電子級化學品
  2. 屬特殊性產品,不產生化學鍵結而提升界面相容性
SBD-803 屬光阻中的主要溶劑之一,主要功用為稀釋光阻等相關用途。
  1. 與各類型光阻相容性高用途廣泛。