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产品介绍 Products
光刻工艺
黄光制程 > 预湿润剂

日益和稀释液为高纯度且经过高规格的质量管控,有效的掌控金属离子与其他微粒子。

在用途上,可以作为光刻胶的稀释,管线的清洗以及工艺上的改善。

Pre-wetting的效果就是先让溶剂进入较窄的沟槽等,之后涂布光刻胶,不会造成seam/void.
RRC最早为TEL所提出,可以藉由pre-wetting使得光刻胶在旋转过程中更快速的分布于整面wafer上。

 

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品名 简介 特性
GBL 预增加晶圆表面之润湿性,进而提升光阻的涂布性及界面相容性。
  1. 电子级化学品
  2. 属特殊性产品,不产生化学键结而提升界面相容性
SBD-803 属光阻中的主要溶剂之一,主要功用为稀释光阻等相关用途。
  1. 与各类型光阻相容性高用途广泛。