产品介绍
Product日益和稀释液为高纯度且经过高规格的质量管控，有效的掌控金属离子与其他微粒子。
在用途上，可以作为光刻胶的稀释，管线的清洗以及工艺上的改善。
Pre-wetting的效果就是先让溶剂进入较窄的沟槽等，之后涂布光刻胶，不会造成seam/void.
RRC最早为TEL所提出，可以藉由pre-wetting使得光刻胶在旋转过程中更快速的分布于整面wafer上。
| 品名 | 簡介 | 特性 |
|---|---|---|
| GBL | 预增加晶圆表面之润湿性，进而提升光阻的涂布性及界面相容性。 |
1.电子级化学品 2. 属特殊性产品，不产生化学键结而提升界面相容性 |
| SBD-803 | 属光阻中的主要溶剂之一，主要功用为稀释光阻等相关用途。 |
1.与各类型光阻相容性高用途广泛。 |